高檔中走絲，另外，在小壓力范圍內(nèi)，內(nèi)應(yīng)力對可動極板工作性能的影響也特別大，內(nèi)應(yīng)力會阻礙可動極板形變，降低傳感器靈敏度，增加非線性誤差。而現(xiàn)階段測量微小電容主要面臨的困難是檢測電路的復(fù)雜性和精度不高的問題。

高檔中走絲，由于小量程傳感器的輸出電容太小，所以檢測電路極其復(fù)雜；與被測的微小電容相比，雜散電容一般要高很多，并且雜散電容會隨諸多因素而變化，結(jié)果往往是干擾信號遠(yuǎn)大于被測量的信號，很難得到準(zhǔn)確的結(jié)果。

高檔中走絲，因此，要實現(xiàn)小量程壓力測量，不僅需要在小體積約束條件下改變電容式傳感器的結(jié)構(gòu)來提高電容輸出，以削弱雜散電容的干擾和降低測試電路的復(fù)雜性，還需要優(yōu)化測量電路，增加其分辨率和精度。國內(nèi)外研究現(xiàn)狀，在二十余年的時間里，國外小量程MEMS電容式壓力傳感器的研制已經(jīng)取得一定成績。